--유리제 가공 약실: ∮100mm; 높은 130mm.
--견본 단계 크기: ∮40mm (파악 6 견본 컵)
--황금 표적 크기:
∮58mm*0.12mm (간격)
--진공 탐지: Pirani 계기
--진공 보호: 마이크로 눈금 인플레이션 벨브를 가진 20 pa
--중간 가스: 아르곤 가스 특별한 공기 흡입구를 가진 아르곤 또는 공기 및 마이크로 눈금에서 통제하는 가스.
| Coater가 A50.7011 이온에 의하여 침을 튀깁니다 | |
| 진공 약실 | Dia 100mm*H130mm |
| 견본 단계 | Dia 40mm (파악 6 견본 컵) |
| 금 침을 튀기기 표적 | Dia 58mm*0.12mm (간격) |
| 진공 계기 | Pirani 계기 |
| 진공 펌프 | 교체 바람개비 Pums: 2L/s |
| 진공 보호 점 | 마이크로 눈금 인플레이션 벨브를 가진 20Pa |
| 작동 가스 | 아르곤 가스 특별한 공기 흡입구를 가진 아르곤 또는 공기 및 마이크로 눈금에서 통제하는 가스 |
| 침을 튀기기 전압 | 1.6KV |
| 총중량 | 48kg |
| 수락 | 세륨 |
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