4.5 - 6nm 고배율 주사 전자 현미경 표면 지형 Eco SEM
주사전자현미경(sem)은 금속, 세라믹, 반도체, 광물, 생물학, 고분자, 복합재료 및 나노크기의 1차원, 2차원, 3차원 물질(2차 전자영상, 후방 산란 전자 이미지). 미세 영역의 점, 선 및 표면 구성 요소를 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 석유, 지질학, 광물 분야, 전자, 반도체 분야, 의학, 생물학 분야, 화학 산업, 고분자 재료 분야, 공안, 농업, 임업 및 기타 분야의 범죄 수사.
A63.7062 에코 텅스텐 필라멘트 SEM | ||
해결 | 4.5nm@30KV(SE);6nm@30KV(BSE) | |
확대 | 음의 배율: 15x~250000x;화면 배율: 30x~500000x | |
전자총 | 텅스텐 가열 음극-전 중심 텅스텐 필라멘트 카트리지 | |
가속 전압 | 0~30KV | |
렌즈 시스템 | 3단 전자파 렌즈(테이퍼 렌즈) | |
대물 조리개 | 몰리브덴 조리개 조정 가능한 외부 진공 시스템 | |
표본 단계 | 다섯 축 스테이지 | |
여행 범위 | X(자동) | 0~50mm |
Y(자동) | 0~50mm | |
Z(수동) | 0~25mm | |
R(수동) | 360º | |
T(수동) | -5º~90º | |
최대 시편 직경 | 150mm | |
탐지기 | 고진공 2차 전자 검출기(검출기 보호 포함) | |
가감 | Stage Upgrade;EBL;STM;AFM;Heating Stage;Cryo Stage;Tensile Stage;Micro-nano Manipulator;SEM+Coating Machine;SEM+Laser | |
부속품 | CCD, 연구소6,엑스선 검출기(EDS),EBSD,CL,WDS,코팅기 | |
진공 시스템 | 터보 분자 펌프, 회전 펌프 | |
전자빔 전류 | 10pAt~0.1μA | |
PC | 맞춤형 Dell 워크스테이션 |
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