| 텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경 (SEM) |
| |
A63.7006 |
A63.7015 |
| 해상도 |
15nm@30KV(SE) |
5nm@30KV(BSE) |
| 배율 |
20x~60000x |
20x~150000x |
| 전자총 |
사전 중심 텅스텐 필라멘트 카트리지, 바이어스 전압 자동 시스템 |
| 전압 |
가속 전압 1KV ~ 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV - 6단계 |
| 렌즈 시스템 |
2단 전자 렌즈, 1단 전자 대물 렌즈 |
| 조리개 |
- |
조절 가능한 아이리스 조리개 30/50/50/100um, 고해상도 이미지를 얻기 위해 전자 빔 변경 |
| 진공 시스템 |
로터리 펌프, 100리터/분 터보 분자 펌프, 70리터/초 펌프 다운 시간<3 Minutes 완전 자동 진공 제어 |
| 검출기 |
SE: 2차 전자 검출기 |
| BSE: 후방 산란 검출기 (옵션) |
| EDS: (옵션) |
| 시료 작업대 |
3축 시스템, X, Y축: 35mm / R축: 360° |
5축 시스템, X, Y축: 35mm / R축: 360°, Z: 0~22mm / 틸트축: 0~45° |
| 최대 시료 |
직경 70mm, 높이 30mm |
직경 80mm, 높이 35mm |
| 이미지 이동 |
X, Y 이미지 이동 ±150um |
| 이미지 스캔 시스템 |
빠른 스캔: 320x240 (스캔 시간: 0.1초) 느린 스캔: 640x480 (스캔 시간: 3초) 사진 모드 1: 1280x960 사진 모드 2: 2560x1920 사진 모드 3: 5120x3840 |
| 이미지 형식 |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| 자동 기능 |
자동 시작, 자동 초점, 자동 밝기/대비 |
| 사진 표시 |
배율, 검출기 유형, 가속 전압, 진공 모드, 로고(텍스트), 날짜 및 시간, 텍스트 마커, 스케일 바 등 |
| 컴퓨터 및 소프트웨어 |
PC 워크스테이션 Win 10 시스템, 전체 SEM 현미경 작동을 완벽하게 제어하는 전문 이미지 분석 소프트웨어 포함, 컴퓨터 사양은 Inter I5 3.2GHz 이상, 4G 메모리, 24" IPS LCD 모니터, 500G 하드 디스크, 마우스, 키보드 |
| 크기 및 무게 |
현미경 본체 460x600x950mm, 총 무게 95Kg |
| A63.7006, A63.7015 표준 도구 및 부품 구성 |
| 1 |
사전 중심 텅스텐 필라멘트 |
3개/상자 |
| 2 |
시료 스테이지 직경 15mm |
5개 |
| 3 |
시료 스테이지 직경 25mm |
5개 |
| 4 |
시료 스테이지 직경 15mm 45° 틸트 |
3개 |
| 5 |
시료 스테이지 직경 15mm 90° 틸트 |
3개 |
| 6 |
높이 표준 마스터 |
1개 |
| 7 |
알렌 렌치 |
1세트 |
| 8 |
SEM 소프트웨어 CD |
1개 |
| 9 |
탄소 전도성 테이프) |
1개 |
| 10 |
가위 |
1개 |
| 11 |
알코올 램프 |
1개 |
| 12 |
핀셋 |
1개 |
|