| 원프라멘 필라멘트 스캔 전자 현미경 (SEM) |
| |
A63.7006 |
A63.7015 |
| 결의 |
15nm@30KV (SE) |
5nm@30KV (BSE) |
| 확대 |
20x~60000x |
20x~150000x |
| 전자 총 |
전중심 텅프렌 필라멘트 카트리지는, 편향 전압 자동 시스템 |
| 전압 |
가속전압 1KV에서 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6단계 |
| 렌즈 시스템 |
2단계 전자기 콘덴서 렌즈, 1단계 전자기 렌즈 |
| 오프터 |
- |
조정 가능한 아이리스 대막 30/50/50/100um, 고해상도 이미지를 얻기 위해 전기선을 변경 |
| 진공 시스템 |
회전 펌프, 100L / min 터보 분자 펌프, 70 리터/초 펌프 다운 T시간 <3 분 완전 자동 진공 제어 |
| 탐지기 |
SE: 2차 전자 탐지기 |
| BSE: 후방방산 탐지기 (선택) |
| EDS: (선택) |
| 표본 작업 단계 |
3 축 시스템,X,Y 축: 35mm / R 축: 360° |
5 축 시스템, X, Y 축: 35mm / R 축: 360°, Z: 0~22mm / 기울기 축: 0~45° |
| 최대 표본 |
지름 70mm, 높이 30mm |
지름 80mm, 높이 35mm |
| 이미지 변경 |
X, Y 이미지 이동 ±150um |
| 이미지 스캔 시스템 |
빠른 스캔: 320x240 (스캔 시간: 0.1초) 느린 스캔: 640x480 (스캔 시간: 3초) 사진 모드 1: 1280x960 사진 모드 2: 2560x1920 사진 모드 3: 5120x3840 |
| 이미지 형식 |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| 자동 기능 |
자동 시작, 자동 초점, 자동 밝기/차별 |
| 사진 표시 |
확대, 탐지기 유형, 가속 전압, 진공 모드, 로고 (글자), 날짜 및 시간, 텍스트 마커, 스케일 바 등 |
| 컴퓨터 및 소프트웨어 |
PC 워크스테이션 Win 10 시스템, 전문 이미지 분석 소프트웨어로 전체 SEM 현미경 작동을 완전히 제어합니다. 컴퓨터 사양은 Inter I5 3.2GHz, 4G 메모리보다 적지 않습니다.24" IPS LCD 모니터, 500G 하드 디스크, 마우스, 키보드 |
| 크기와 무게 |
현미경 몸 460x600x950mm, 총 무게 95Kg |
| A63.7006, A63.7015 표준 도구 및 부품 장비 |
| 1 |
선중심 텅스텐 필라멘트 |
3개/박스 |
| 2 |
샘플 스테이지 다이아그램 15mm |
5개 |
| 3 |
샘플 스테이지 다이아그램 25mm |
5개 |
| 4 |
샘플 스테이지 지름 15mm 45° 기울기 |
3개 |
| 5 |
샘플 스테이지 지름 15mm 90° 기울기 |
3개 |
| 6 |
높이 표준 마스터 |
1pc |
| 7 |
앨런 랭치 |
1 세트 |
| 8 |
SEM 소프트웨어 CD |
1pc |
| 9 |
탄소 전도성 테이프) |
1pc |
| 10 |
가위 |
1pc |
| 11 |
오리라브 |
1pc |
| 12 |
피츠 |
1pc |
|