교육 수준 원자력 현미경

• 티칭 레벨 별도의 컨트롤러 및 본체 설계, 탭핑 모드 포함, 4x 대물렌즈, 소형 분리형 설계
• 레이저 감지 헤드와 샘플 스캐닝 스테이지가 통합되어 구조가 매우 안정적이며 간섭 방지가 강합니다.
• 모터로 제어되는 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방식으로 프로브와 샘플 보호
• 자동 광학 위치 지정, 초점 필요 없음, 프로브 샘플 스캔 영역의 실시간 관찰 및 위치 지정
• 스프링 서스펜션 충격 방지 방법, 간단하고 실용적인, 좋은 충격 방지 효과
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• ◆ 레이저 감지 헤드와 샘플 스캐닝 단계가 통합되어 구조가 매우 안정적이며 간섭 방지가 강합니다.

  ◆ 정밀 프로브 포지셔닝 장치, 레이저 스폿 정렬 조정이 매우 쉽습니다.

   

  ◆ 단일 축 드라이브 샘플은 자동으로 프로브에 수직으로 접근하여 바늘 끝이 샘플 스캔에 수직이 되도록 합니다.

   

  ◆ 모터로 제어되는 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방식으로 프로브와 샘플 보호

   

  ◆ 자동 광학 위치 지정, 초점 필요 없음, 프로브 샘플 스캔 영역의 실시간 관찰 및 위치 지정

   

  ◆ 스프링 서스펜션 충격 방지 방법, 간단하고 실용적인, 좋은 충격 방지 효과

  ◆ 금속 차폐 방음 상자, 고정밀 온습도 센서 내장, 작업 환경의 실시간 모니터링

  ◆ 통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 98보다 나은 나노미터 특성화 및 측정 정확도

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• 사양	A62.4500	A622.4501	A62.4503	A62.4505
  작업 모드	태핑 모드 [선택 과목] 접촉 모드 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드	접촉 모드 태핑 모드 [선택 과목] 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드	접촉 모드 태핑 모드 [선택 과목] 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드	접촉 모드 태핑 모드 [선택 과목] 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드
  현재 스펙트럼 곡선	RMS-Z 곡선 [선택 과목] FZ 힘 곡선	RMS-Z 곡선 FZ 힘 곡선	RMS-Z 곡선 FZ 힘 곡선	RMS-Z 곡선 FZ 힘 곡선
  XY 스캔 범위	20×20um	20×20um	50×50um	50×50um
  XY 스캔 해상도	0.2nm	0.2nm	0.2nm	0.2nm
  Z 스캔 범위	2.5um	2.5um	5음	5음
  Y 스캔 해상도	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.05nm
  스캔 속도	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz
  스캔 각도	0~360°	0~360°	0~360°	0~360°
  표본의 크기	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm
  XY 스테이지 이동	15×15mm	15×15mm	25×25um	25×25um
  충격 흡수 디자인	스프링 서스펜션	스프링 서스펜션 금속 차폐 상자	스프링 서스펜션 금속 차폐 상자	-
  광학 시스템	4x 목표 해상도 2.5um	4x 목표 해상도 2.5um	10배 목표 해상도 1um	접안렌즈 10x 인피니티 플랜 LWD APO 5x10x20x50x 500만 디지털 카메라 10" LCD 모니터, 측정 포함 LED 콜러 조명 동축 코어스 및 파인 포커싱
  산출	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  소프트웨어	XP/7/8/10 승리	XP/7/8/10 승리	XP/7/8/10 승리	XP/7/8/10 승리

• 현미경	광학 현미경	전자 현미경	스캐닝 프로브 현미경
  최대 해상도(음)	0.18	0.00011	0.00008
  주목	오일 침지 1500x	다이아몬드 탄소 원자 이미징	고차원 흑연 탄소 원자 이미징

• 프로브-샘플 상호작용	신호 측정	정보
  힘	정전기력	모양
  터널 전류	현재의	모양, 전도도
  자기력	단계	자기 구조
  정전기력	단계	전하 분포

• 	해결	작업 조건	일하는 온도	샘플 손상	검사 깊이
  SPM	원자 수준 0.1nm	일반, 액체, 진공	실내 또는 저온	없음	1~2 원자 수준
  TEM	포인트 0.3~0.5nm 격자 0.1~0.2nm	고진공	실내 온도	작은	일반적으로 <100nm
  SEM	6-10nm	고진공	실내 온도	작은	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	원자 수준 0.1nm	초고진공	30~80K	데미지	원자 두께

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