-
◆ 레이저 감지 헤드와 샘플 스캐닝 단계가 통합되어 구조가 매우 안정적이며 간섭 방지가 강합니다.
◆ 정밀 프로브 포지셔닝 장치, 레이저 스폿 정렬 조정이 매우 쉽습니다.
-
◆ 단일 축 드라이브 샘플은 자동으로 프로브에 수직으로 접근하여 바늘 끝이 샘플 스캔에 수직이 되도록 합니다.
◆ 모터로 제어되는 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방식으로 프로브와 샘플 보호
-
◆ 자동 광학 위치 지정, 초점 필요 없음, 프로브 샘플 스캔 영역의 실시간 관찰 및 위치 지정
◆ 스프링 서스펜션 충격 방지 방법, 간단하고 실용적인, 좋은 충격 방지 효과
◆ 금속 차폐 방음 상자, 고정밀 온습도 센서 내장, 작업 환경의 실시간 모니터링
-
◆ 통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 98% 이상의 나노미터 특성화 및 측정 정확도
-
-
-
-
-
사양 |
A62.4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
작업 모드 |
태핑 모드
[선택 과목] 접촉 모드 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드 |
접촉 모드 태핑 모드
[선택 과목] 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드 |
접촉 모드 태핑 모드
[선택 과목] 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드 |
접촉 모드 태핑 모드
[선택 과목] 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드 |
현재 스펙트럼 곡선 |
RMS-Z 곡선
[선택 과목] FZ 힘 곡선 |
RMS-Z 곡선 FZ 힘 곡선 |
RMS-Z 곡선 FZ 힘 곡선 |
RMS-Z 곡선 FZ 힘 곡선 |
XY 스캔 범위 |
20×20um |
20×20um |
50×50um |
50×50um |
XY 스캔 해상도 |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
Z 스캔 범위 |
2.5um |
2.5um |
5음 |
5음 |
Y 스캔 해상도 |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
스캔 속도 |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
스캔 각도 |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
표본의 크기 |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
XY 스테이지 이동 |
15×15mm |
15×15mm |
25×25um |
25×25um |
충격 흡수 디자인 |
스프링 서스펜션 |
스프링 서스펜션 금속 차폐 상자 |
스프링 서스펜션 금속 차폐 상자 |
- |
광학 시스템 |
4x 목표 해상도 2.5um |
4x 목표 해상도 2.5um |
10배 목표 해상도 1um |
접안렌즈 10x 인피니티 플랜 LWD APO 5x10x20x50x 500만 디지털 카메라 10" LCD 모니터, 측정 포함 LED 콜러 조명 동축 코어스 및 파인 포커싱 |
산출 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
소프트웨어 |
XP/7/8/10 승리 |
XP/7/8/10 승리 |
XP/7/8/10 승리 |
XP/7/8/10 승리 |
-
현미경 |
광학 현미경 |
전자 현미경 |
스캐닝 프로브 현미경 |
최대 해상도(음) |
0.18 |
0.00011 |
0.00008 |
주목 |
오일 침지 1500x |
다이아몬드 탄소 원자 이미징 |
고차원 흑연 탄소 원자 이미징 |
|
|
|
-
프로브-샘플 상호작용 |
신호 측정 |
정보 |
힘 |
정전기력 |
모양 |
터널 전류 |
현재의 |
모양, 전도도 |
자기력 |
단계 |
자기 구조 |
정전기력 |
단계 |
전하 분포 |
-
|
해결 |
작업 조건 |
일하는 온도 |
샘플 손상 |
검사 깊이 |
SPM |
원자 수준 0.1nm |
일반, 액체, 진공 |
실내 또는 저온 |
없음 |
1~2 원자 수준 |
TEM |
포인트 0.3~0.5nm 격자 0.1~0.2nm |
고진공 |
실내 온도 |
작은 |
일반적으로 <100nm |
SEM |
6-10nm |
고진공 |
실내 온도 |
작은 |
10mm @10x 1um @10000x |
FIM |
원자 수준 0.1nm |
초고진공 |
30~80K |
데미지 |
원자 두께 |
-
-
-