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A62.4510 |
A62.4511 |
작업 모드 |
콘택 모드 태핑 모드
[선택적입니다] 마찰 방식 위상 모드 자기성 모드 정전 모드 |
콘택 모드 태핑 모드
[선택적입니다] 마찰 방식 위상 모드 자기성 모드 정전 모드 |
전류 스펙트럼 곡선 |
RMS-Z는 구부러집니다 F-Z 힘 곡선 |
RMS-Z는 구부러집니다 F-Z 힘 곡선 |
XY 스캔 모드 |
주사하여 운전된 탐침, 피에조 튜브 스캐너 |
폐쇄 고리 압전기 이동 주사단, 주사하여 운전되는 것으로 시험합니다 |
XY 스캔 범위 |
70×70um |
폐쇄 고리 100×100um |
XY 스캔 해상도 |
0.2nm |
폐쇄 고리 0.5nm |
Z 스캔 모드 |
|
주사하여 운전된 탐침 |
Z 스캔 범위 |
5 um |
5 um |
Z 스캔 해상도 |
0.05nm |
0.05nm |
스캔 속도 |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
주사각 |
0~360' |
0~360' |
시료 중량 |
≤15Kg |
≤0.5Kg |
단계 사이즈 |
Dia.100mm
[선택적입니다] Dia.200mm Dia.300mm |
Dia.100mm
[선택적입니다] Dia.200mm Dia.300mm |
단계 XY 움직임 |
100x100mm, 결의안 1 um
[선택적입니다] 200x200mm 300x300mm |
100x100mm, 결의안 1 um
[선택적입니다] 200x200mm 300x300mm |
단계 Z 움직임 |
15 밀리미터, 결의안 10nm [선택적입니다] 20 밀리미터 25 밀리미터 |
15 밀리미터, 결의안 10nm [선택적입니다] 20 밀리미터 25 밀리미터 |
충격 흡수하는 디자인 |
스프링 서스펜션
[선택적입니다] 능동 쇽 흡수제 |
스프링 서스펜션
[선택적입니다] 능동 쇽 흡수제 |
광 시스템 |
목표 5x 5.0M 디지털 카메라
[선택적입니다] 목표 10x 목표 20x |
목표 5x 5.0M 디지털 카메라
[선택적입니다] 목표 10x 목표 20x |
출력 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
소프트웨어 |
XP/7/8/10을 얻으세요 |
XP/7/8/10을 얻으세요 |
메인 바디 |
받침대 스캔 헤드, 대리석 토대 |
받침대 스캔 헤드, 대리석 토대 |