A63.7088 | |
결의 | 1.0nm@30KV (SE), 1.5nm@1KV (SE) |
확대 | 1x~2000000x |
전자 총 | 스콧키 필드 배기가스 총 |
전압 | 가속 전압 0.02~30KV |
전자 빔 | 1pA ~ 20nA |
진공 시스템 | 1 스프터 이온 펌프, 1 터보 분자 펌프, 1 기계 펌프 |
탐지기 | 렌즈에서 SE, 샘플룸에서 SE, BSE, CCD |
포트 확장 | BSE, EDS, EBSD, CL 등에 대한 샘플 룸에 포트를 확장하십시오. |
표본 단계 | 5 축오토스테이지, 이동 범위: X=125mm, Y=125mm, Z=50mm, R=360°, T=-5°~+70° |
최대 표본 | 표본실 직경 330mm, 높이 260mm |
이미지 시스템 | 실제 정지 이미지 최대 해상도 256x256~16k~16k 픽셀 |
컴퓨터 및 소프트웨어 | PC 작업 스테이션 윈도우 시스템, 전문 이미지 분석 소프트웨어와 함께 전체 SEM 현미경 작동, 마우스, 키보드를 완전히 제어 |
제어판 | 포함 |
크기와 무게 | 주체 1900x1100x1800mm 총 무게 800kg |
선택용 액세서리 | |
A50.7091 | 이온 빔 청소기 |
A50.7092 | 필드 에미션 총등 |
▶우수한 전자 광학 설계 ●열장 방출 전자 총, 안정 빔, 높은 영상 해상도 ●풀 튜브 가속 기술은 낮은 가속 전압에서 전자 빔의 높은 영상 성능을 보장합니다. ●전기 정적 렌즈와 자기 렌즈의 복합 렌즈 설계, 객체 렌즈는 자기 누출이 없으며 자기 표본의 영상 촬영은 걱정이 없습니다. |
▶포괄적 신호 수집 시스템 ● 동시에 두 종류의 2차 전자의 신호를 수집할 수 있습니다. 반방산 전자와 전송 전자 ● 표본 형태와 조성 대조가 동시에 표시되어 표본의 현미경 형태와 조성 정보를 최대한 보여줍니다. |