NIR 현미경 (NIR microscope) 은 적외선 근선 (Near-infrared radiation, NIR) 을 사용하여 샘플을 이미지화하고 화학적 성질에 대한 스펙트럼 정보를 얻는 현미경의 일종이다.이 기술 은 현미경 의 공간 해상도 와 NIR 분광 의 스펙트럼 분석 을 결합 하여 현미경 수준 에서 물질 을 분석 하기 위한 강력한 도구 를 제공한다. |
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넓은 스펙트럼 범위를 위한 NIR 카메라
A13.0915 시리즈는 광대 스펙트럼 전용 적외선 NIR 카메라를 사용하여 밝은 필드 및 적외선 관측을 커버합니다. 필드 조명, 넓은 이미지 시야 및 고 해상도.영역 배열 탐지 위해 대역 패스 컬러 필터와 함께 사용그것은 다양한 고객의 요구를 충족하기 위해 실리콘 웨이퍼 내부의 칩의 다른 부분에 반응 할 수 있습니다. 넓은 영역 조명, 넓은 스펙트럼을 달성하기 위해 지역 배열 감지,큰 시야장 및 고해상도 영상. |
NIR 카메라 | 픽셀 | 밴드 | 프레임 레이트 | 픽셀 크기 |
A59.0971-3.2M (표준) | 3.2M | 400~1100nm | 120fps@2064x1544 | 3.45μm |
A59.0971-1.3M (선택) | 1.3M | 400~1700nm | 72fps@1280X1024 | 5μm |
NIR 반사 에피 일루미네이터 ● 조명기의 광적 요소에 대한 장치 400-1700nmband에서 증가 투명, 당신은 밝은 필드 (BF) 및 적외선 (NIR) 필드 선택, 넓은 스펙트럼 범위,작은 산란, 실리콘 웨이퍼에 적합 (제르마니움 엽) 강한 침투 성능을 가지고 있습니다. ● 광선 대막과 객체 렌즈 확대 자동 일치, 수동 조정 필요 없이, 빠르고 효율적으로, 다른 사용자에 적합한 동일한 시야 효과를 관찰합니다. |
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NIR 무한계획 Semi-APO 목표 특수 설계된 A5M.0946 NIR 객체로, 여러분은 포장된 칩과 웨이퍼의 내부를 실시간으로 관찰할 수 있고, 보다 명확한 초대 폭 스펙트럼 영상을 쉽게 보여줄 수 있습니다. ●A13.0915 시리즈 산업 적외선 현미경 이미지 시스템에는 5X-50X 전문 적외선 물체가 장착되어 있습니다,일반적인 밝은 필드 및 전용 적외선 관측에 적합합니다. ●더 큰 수치 개도와 함께 높은 확대 렌즈의 경우, 덮개를 수정하기 위해 수정 고리가 추가됩니다.서로 다른 덮개 껍질 두께로 인한 편차는 근 적외선 대역에서 고화질 및 정확한 검출을 가능하게합니다.. |
NIR 필터 슬라이더 A13.0915 설계된 멀티 홀 필터 슬라이더, 1100nm, 1200nm, 1300nm 대역 간격 가까운 적외선 색상 필터 옵션 사용자들은 빠르게 대역을 변경할 수 있습니다.좁은 대역 너비 2차 필터링을 통해 같은 지역의 다른 구조의 반응을 실현, 그리고 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다. |
에르고노믹 디자인 을 통해 가장 높은 업무 효율 을 확보 |
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고속 모터화 된 코 조각 ● 앞뒤로 이동하는 모드로 장착되어 있으며, 고 반복 가능한 위치 정확성으로 신속하고 정확하게 필요한 목표를 찾습니다.
● 기계 전환 모드는 효과적으로 개선 코 조각의 작동 수명을 연장합니다. |
더 많은 운영 기능을 가진 독립적으로 개발된 소프트웨어 A130915이 시리즈는 Mv Image 소프트웨어를 채택합니다. 관리, 측정, 이미지 수집 및 레이어 관리와 같은 기능 모듈에 추가로 독특한 적외선 이미지 향상 기능으로,그것은 또한 고객의 필요에 따라 사용자 정의 될 수 있습니다. |
이미지 향상 적외선 침투의 이미지 명확성을 향상시켜 지역 세부 사항을 더 분명하게 만듭니다. |
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알 소프트웨어 강화 자발적으로 개발된 AI는 샘플의 결함을 자동으로 감지할 수 있습니다. 주요 학습 기능, 자동 결함 식별, 캡처, 계산 통계 및 기타 기능.요구에 따라 사용자 정의 다른 고객에 따라. |
A13.0915 NIR 근 적외선 산업 금속 현미경 | A130915 | 카타, 안돼 | ||||
6R | 8R | 12R | 12RT | |||
광학 시스템 | 무한 색상 수정 광 시스템 | ● | ● | ● | ● | |
관찰 | 밝은 필드 (BF) / 근 적외선 (NIR) | ● | ● | ● | ● | |
관측머리 | NIR 30° 트리노클러 머리 (건조된 이미지), 빗자리 사이 50-76mm, 분할 비율 100:0 또는 0:100 | ● | ● | ● | ● | A53.0915 |
안경 | WF PL10X/22mm, 다이오프터 조절, 높은 시점 | ○ | ○ | ○ | ○ | A51.0904-1022T |
WF PL10X/22mm, 다이오프터 조절, 높은 시점, 마이크로미터 | ○ | ○ | ○ | ○ | A51.0905-1022NRT | |
WF PL10X/23mm, 다이오프터 조절, 높은 시점 | ● | ● | ● | ● | A51.0904-1023T | |
WF PL10X/23mm, 다이오프터 조절, 높은 시점, 마이크로미터 | ○ | ○ | ○ | ○ | A51.0905-1023NRT | |
인피니티 플랜 Semi-APO NIR 목표 | NIR5X/0.15, WD=19.5mm, 파장 450-1700nm | ● | ● | ● | ● | A5M.0946-5 |
NIR10X/0.3, WD=12.2mm, 파장 450-1700nm | ● | ● | ● | ● | A5M.0946-10 | |
NIR20X/0.45, WD=7.31-7.57mm, 파장 450-1700nm, 수정 고리와 함께 0-1.2mm 덮개 유리 | ● | ● | ● | ● | A5M.0946-20 | |
NIR50X/0.70, WD=2.68-2.93mm, 파장 450-1700nm, 수정 반지와 함께 덮기 유리 0-1.2mm | ● | ● | ● | ● | A5M.0946-50 | |
콧구멍 | 자동차DlC 슬롯이 있는 6개 나스피스 | ● | ● | ● | ● | |
집중력 | 낮은 위치 동축 초점 메커니즘, 거친 범위 35mm, 0.001mm의 미세 정밀, 상위 제한 및 긴장 조정. | ● | ● | ● | ● | A54.0930-MX6 |
프레임 및 조명 장치 | NIR 반사프레임, 100-240V 광전압 전원 공급 --NIR 반사 조명기 12V100W 하로겐, 변동 모터 장광막, 중앙 조정; BF / NIR 스위치; 필터 슬롯, |
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NIR 반사 및 전송프레임, 100-240V 광전압 전원 공급 --NIR 반사 조명기 12V100W 하로겐, 변동 모터 장광막, 중앙 조정; BF / NIR 스위치; 필터 슬롯, -- 5W의 따뜻한 LED를 전달합니다. |
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무대 | 63층 기계 스테이지, 크기는 445x240mm, 이동 범위는 158x158mm, 빠른 이동을 위한 클러치 핸들이 있다.반사 기능을 위한 금속판으로 | ● | - | - | A54.0971-6R | |
6 ′′ 웨이퍼 트레이와 함께 회전 스테이지, 4 ′′, 5 ′′, 6 ′′ 웨이퍼에 적합 | ○ | - | - | - | A54.0971-6WT | |
83층 기계 스테이지, 크기 525x330mm, 이동 범위 210x210mm; 빠른 이동을 위한 클러치 손잡이; 반사 기능을 위한 금속 판 | ● | - | - | A54.0971-8R | ||
8 ′′ 웨이퍼 트레이와 함께 회전 스테이지, 6 ′′, 8 ′′ 웨이퍼에 적합 | - | ○ | - | - | A54.0971-8WT | |
12x143층 기계 스테이지, 크기는 710x420mm, 이동 범위는 305x356mm, 빠른 이동을 위한 클러치 손잡이금속 스테이지 판으로 반사 | - | - | ● | - | A54.0971-12R | |
12x143층 기계 스테이지, 크기는 710x420mm, 이동 범위는 305x356mm, 빠른 이동을 위한 클러치 손잡이반사 및 전송을 위한 유리 스테이지 플레이트로 | - | - | - | ● | A54.0971-12RT | |
12 ′′ 웨이퍼 트레이와 함께 회전 스테이지, 6 ′′, 8 ′′, 12 ′′ 웨이퍼에 적합합니다. | - | - | ○ | ○ | A54.0971-12WT | |
필터 | NIR 대역 통과 필터 1100nm | ● | ● | ● | ● | A56.0971-1100 |
NIR 밴드 패스 필터 1200nm | ○ | ○ | ○ | ○ | A56.0971-1200 | |
NIR 대역 통과 필터 1300nm | ○ | ○ | ○ | ○ | A56.0971-1300 | |
카메라 | 1.3M NlR 400-1700nm 단색 카메라, inGAs, 125fpa@1280x1024, 카메라 링크, 픽셀 크기 5um | ○ | ○ | ○ | ○ | A59.0971-1.3M |
3.2M NlR 400-1100nm 모노크롬 카메라, 소니 IMX252, 120fps@2064 x1544, USB 3.0, 픽셀 크기는 3.45mm | ● | ● | ● | ● | A59.0971-3.2M | |
카메라 어댑터 | 0.35X C - 마운트, 초점 조절 | ○ | ○ | ○ | ○ | A55.0930-35 |
0.5 X C-마운트, 초점 조절 | ○ | ○ | ○ | ○ | A55.0930-05 | |
0.65X C-마운트, 초점 조절 | ○ | ○ | ○ | ○ | A55.0930-65 | |
1X C - 마운트, 초점 조절 | ● | ● | ● | ● | A55.0930-10 | |
다른 것 | 스테이지 미크로미터 0.01mm 그라틱, 금속학적 수정 필름 | ● | ● | ● | ● | |
이미지 처리, 이미지 획득, 이미지 관리, 측정 기능이 있는 MV 이미지 소프트웨어 | ● | ● | ● | ● | ||
PC i5 16G, 1T+256G, 2G 그래픽, 23' LCD | ● | ● | ● | ● | ||
M4, M6 스플래너 | ● | ● | ● | ● |