주사 전자 현미경(SEM)은 투과 전자 현미경(TEM)과 광학 현미경 사이의 관찰 수단입니다.
좁게 초점을 맞춘 고에너지 전자 빔으로 샘플을 스캔하고, 빔과 물질 간의 상호 작용을 통해 다양한 물질을 여기시킵니다. 정보를 수집, 증폭 및 재이미징하여 재료의 미세 형태를 특성화하는 목적을 달성합니다. 편리한 작동, 빠른 이미징 및 안정적인 성능의 설계 목표를 준수하여 OPTO-EDU는 텅스텐 필라멘트 데스크탑 스캐너를 독립적으로 개발했습니다. A63.7001 주사 전자 현미경은빠른 스캔 속도와 10M의 신호 획득 대역폭을 가지고 있어 비디오 모드에서 샘플을 부드럽고 실시간으로 표시할 수 있습니다. 모든 작업은 마우스로 완료할 수 있으며, 조리개를 정렬하는 등 복잡한 단계가 필요하지 않습니다. 초점을 맞추고 난시를 제거한 후, 바로 사진을 찍을 수 있습니다. 호스트는 고전압 및 제어 시스템을 통합하고 있으며, 크기가 작고 이동이 용이하며, 설치를 위한 특별한 환경이 필요하지 않습니다. 테이블을 찾고 전원을 연결하기만 하면 작업을 시작할 수 있습니다. |
주요 사양: 1. 가속 전압: 5KV/10KV/15KV 2. 전자총 유형: 사전 정렬된 텅스텐 필라멘트, 수명 100시간, 사용자가 쉽게 교체 가능, 고도로 통합된 2단계 총 렌즈, 대물 렌즈의 조리개를 수동으로 조정할 필요 없음. 3. 배율 ≥150000X8. 시료 교체 및 고진공 펌핑 시간 ≤ 90s. :≤10nm@15KV4nm@20KV 6. 스테이지: 2축 XY 전동 스테이지, 이동 40x30mm (40x40mm 옵션) 7. 최대 시료 크기: 80x42x40mm8. 시료 교체 및 고진공 펌핑 시간 ≤ 90s. 9. 고진공 시스템: 내장형 터보 분자 펌프, 외부 기계 펌프, 시료 챔버 내 진공 ≥1x10-1Pa, 완전 자동 제어; 10. 비디오 모드 ≥512x512 픽셀, 작은 창 스캔 불필요. 11. 빠른 스캔 모드: 이미징 시간 ≤3s, 512x512 픽셀. 12. 느린 스캔 모드: 이미징 시간 ≤40s, 2048x2048 픽셀. 13. 이미지 파일: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. 원 키 자동 밝기 및 대비 조정, 자동 초점. 15. 탐색 기능: 광학 카메라 탐색 및 캐빈 카메라. 16. 이미지 측정 기능: 거리, 각도 등. 17. 컴퓨터 및 소프트웨어, 마우스 제어 포함. 18. 옵션: --텅스텐 필라멘트 (20개/상자) --EDS 19. 현미경 크기: 283*553*505mm, 기계 펌프 크기 340*160*140mm 모델 A63.7001 |
A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 | 분해능 | 10nm@15KV |
6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV | 배율 | 150000x |
200000x | 360000x | 360000x | 전자총 | 전자총 | 텅스텐 |
텅스텐 | Schotty FEG | Schotty FEG | Schotty FEG | 전압 | 5/10/15KV |
3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 검출기 | 검출기 | BSE+SE |
BSE+SE | CCD | CCD | CCD | CCD | CCD |
CCD | CCD+캐빈 카메라 | CCD+캐빈 카메라 | 90s | 90s | 90s |
90s | 진공 시스템 | 진공 시스템 | 180s | 진공 시스템 | 기계 펌프 |
분자 펌프 |
이온 펌프 x2 진공 |
이온 펌프 x2 진공 |
이온 펌프 x2 진공 |
이온 펌프 x2 진공 분자 펌프 |
이온 펌프 x2 진공 고진공 |
1x10-1Pa | 스테이지 5x10-4Pa |
스테이지 5x10-4Pa |
스테이지 5x10-4Pa |
스테이지 XY 스테이지, |
스테이지 XY 스테이지, |
40x30/40x40mm | 스테이지 정밀도 60x55mm |
스테이지 정밀도 60x55mm |
스테이지 정밀도 - |
스테이지 정밀도 - |
스테이지 정밀도 - |
위치 정밀 5um | UPS | 5-35mm | |||
5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 80x42x40mm |
80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 텅스텐 필라멘트 20개/상자 | 텅스텐 필라멘트 20개/상자 | 텅스텐 필라멘트 20개/상자 |
Lab6 필라멘트 | 전계 방출 램프 | EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | - | ||
저진공 1-100Pa | |||||
UPS | - | Z축 모듈 | |||
UPS | - | T축 모듈 | |||
UPS | - | - | |||
UPS | UPS | - | |||
UPS | UPS | 감속 모드 1-10KV, 비전도성 샘플 관찰용, BSE에만 해당 | |||
UPS | 원래 공장에서 제공하는 In-Situ 스테이지, 가열, 냉각, 스트레칭 등 | ||||
UPS | |||||