뛰어난 성능, 고속 이미징, 다양한 신호 ZEM18 데스크탑 주사 전자 현미경 신호 획득 대역폭 최대 10M, 빠른 스캔 속도, 비디오 모드에서 샘플 실시간 관찰, 고스트 현상 없음, 드래깅 없음, 모든 세부 사항을 놓치지 않음. 다양한 ZEP.TOOLS in-situ 기능성 샘플 스테이지와 호환.
주요 사양: 1. 가속 전압: 3-18kV, 연속 조절 가능. 2. 전자총 유형: 사전 정렬된 텅스텐 필라멘트, 수명 100시간, 사용자가 쉽게 교체 가능, 고도로 통합된 2단계 총 렌즈, 대물 렌즈의 조리개를 수동으로 조절할 필요 없음. 3. 배율 ≥200000X; 4. 해상도:≤6nm@18KV 5. 검출기: 2차 전자 검출기(SE), 4중 후방 산란 검출기(BSE), 6. 스테이지: 2축 XY 전동 스테이지, 이동 40x30mm (40x40mm 옵션); 7. 최대 시료 크기: 80x42x40mm 8. 시료 교체 및 고진공 펌핑 시간≤ 90초. 9. 고진공 시스템: 내장형 터보 분자 펌프, 외부 기계 펌프, 시료 챔버 내 진공 ≥1x10-1Pa, 완전 자동 제어; 10. 비디오 모드 ≥512x512 픽셀, 작은 창 스캔 불필요. 11. 빠른 스캔 모드: 이미징 시간≤3s, 512x512 픽셀. 12. 느린 스캔 모드: 이미징 시간≤40s, 2048x2048 픽셀. 13. 이미지 파일: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. 원터치 자동 밝기 및 대비 조절, 자동 초점, 대형 이미지 스티칭 15. 탐색 기능: 광학 카메라 탐색 및 캐빈 카메라. 16. 이미지 측정 기능: 거리, 각도 등. 17. 컴퓨터 및 소프트웨어, 마우스 제어 포함. 18. 옵션: --텅스텐 필라멘트 (20개/상자) --EDS --저진공 (1-100Pa) --Z축, T축 모듈 --감속 모드, 1-10KV, BSE 모드에서만 금속 분사 없이 비전도성 또는 불량 전도성 샘플 관찰 가능 --원래 공장에서 제공하는 In-Situ 스테이지, 가열, 냉각, 스트레칭 등 19. 현미경 크기: 283*553*505mm, 기계 펌프 크기 340*160*140mm |
모델 | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
해상도 | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
배율 | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
전자총 | 텅스텐 | 텅스텐 | 텅스텐 | LaB6 | Schotty FEG |
전압 | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
검출기 | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
탐색 CCD | CCD | CCD | CCD+캐빈 카메라 | CCD+캐빈 카메라 | CCD+캐빈 카메라 |
진공 시간 | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
진공 시스템 | 기계 펌프 분자 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 이온 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 이온 펌프 x2 |
진공 | 고진공 1x10-1Pa |
고진공 1x10-1Pa |
고진공 1x10-1Pa |
고진공 5x10-4Pa |
고진공 5x10-4Pa |
스테이지 | XY 스테이지, 40x30/40x40mm |
XY 스테이지, 40x30/40x40mm |
XY 스테이지, 60x55mm |
XY 스테이지, 60x55mm |
XY 스테이지, 60x55mm |
스테이지 정밀도 | - | 위치 정확도 5um | |||
작동 거리 | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
최대 시료 | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
옵션 | 텅스텐 필라멘트 20개/상자 | Lab6 필라멘트 | 전계 방출 램프 | ||
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | |||||
- | 저진공 1-100Pa | 저진공 1-30Pa | |||
- | Z축 모듈 | 3축 스테이지, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
- | T축 모듈 | 3축 스테이지, X 60mm, Y 50mm, T ±20° | |||
- | - | 5축 스테이지, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ±20°, R 360° | |||
- | - | 충격 흡수 플랫폼, 3축, 5축 스테이지용 | |||
- | 감속 모드 1-10KV, 비전도성 샘플 관찰, BSE에만 해당 | ||||
- | 원래 공장에서 제공하는 In-Situ 스테이지, 가열, 냉각, 스트레칭 등 | ||||
UPS |
▶ TTM용 AZtecOne with XploreCompact 30
시스템 기존 EDS 분석 이 시스템은 B(5)에서 cf(98)까지 다양한 재료의 정성 및 정량 분석을 제공합니다. 샘플 표면의 개별 포인트 스캔 외에도 강력한 라인 스캔 및 원소 스펙트럼 스캔도 사용할 수 있습니다. 맞춤형 검출기와 결합하여 분석 및 보고를 몇 초 만에 수행할 수 있습니다. |
유효 결정 면적 | 30mm2 | 해상도(사진의) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
원소 검출 범위 | B (5) ~ cf (98) | 최대 입력 계수율 | >1,000,000 cps |