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주요 사양: 1. 가속 전압: 1-15kV, 연속 조정 가능. 2. 전자총 유형: 쇼티 전계 방출 총(FEG), 고도로 통합된 2단계 총 렌즈, 대물 렌즈의 조리개를 수동으로 조정할 필요 없음. 3. 배율 ≥1000000X; 4. 해상도:≤2.5nm@15KV 5. 검출기: 2차 전자 검출기(SE), 4중 후방 산란 검출기(BSE), 6. 스테이지: 2축 XY 전동 스테이지, 이동 60x55mm; 7. 최대 시료 크기: XY축이 자유롭게 움직이는 동안 100*78*68.5mm 8. 시료 교체 및 고진공 펌핑 시간≤ 180s. 9. 고진공 시스템: 기계 펌프, 터보 분자 펌프, 이온 펌프 x2, 시료 챔버 내 진공 ≥4x10-2Pa, 완전 자동 제어; 10. 비디오 모드 ≥512x512 픽셀, 작은 창 스캔 불필요. 11. 빠른 스캔 모드: 이미징 시간≤3s, 512x512 픽셀. 12. 느린 스캔 모드: 이미징 시간≤40s, 2048x2048 픽셀. 13. 이미지 파일: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. 밝기 및 대비의 원 키 자동 조정, 자동 초점, 대형 이미지 스티칭 15. 탐색 기능: 광학 카메라 탐색 및 캐빈 카메라. 16. 이미지 측정 기능: 거리, 각도 등. 17. 컴퓨터 및 소프트웨어, 마우스 제어 포함. 18. 옵션: --텅스텐 필라멘트 (20개/상자) --EDS --3축 전동 스테이지 XYZ --3축 전동 스테이지 XYT --5축 전동 스테이지 XYZRT --저진공 (1-60Pa) --원래 공장에서 In-Situ 스테이지, 가열, 냉각, 스트레칭 등 --감속 모드, 1-10KV, 금 분사 없이 비도체 또는 전도성이 낮은 시료 관찰 가능, BSE 모드에만 해당 --충격 흡수 플랫폼 (A63.7005 권장) 19. 현미경 크기 650*370*642mm, 기계 펌프 크기 340*160*140mm |
| 모델 | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
| 해상도 | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
| 배율 | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
| 전자총 | 텅스텐 | 텅스텐 | 텅스텐 | LaB6 | 쇼티 FEG |
| 전압 | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
| 검출기 | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
| 탐색 CCD | CCD | CCD | CCD+캐빈 카메라 | CCD+캐빈 카메라 | CCD+캐빈 카메라 |
| 진공 시간 | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
| 진공 시스템 | 기계 펌프 분자 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 이온 펌프 |
기계 펌프 분자 펌프 이온 펌프 x2 |
| 진공 | 고진공 1x10-1Pa |
고진공 1x10-1Pa |
고진공 1x10-1Pa |
고진공 5x10-4Pa |
고진공 5x10-4Pa |
| 스테이지 | XY 스테이지, 40x30/40x40mm |
XY 스테이지, 40x30/40x40mm |
XY 스테이지, 60x55mm |
XY 스테이지, 60x55mm |
XY 스테이지, 60x55mm |
| 스테이지 정밀도 | - | 위치 정확도 5um | |||
| 작동 거리 | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
| 최대 시료 | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
| 옵션 | 텅스텐 필라멘트 20개/상자 | Lab6 필라멘트 | 전계 방출 램프 | ||
| EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | |||||
| - | 저진공 1-100Pa | 저진공 1-30Pa | |||
| - | Z축 모듈 | 3축 스테이지, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
| - | T축 모듈 | 3축 스테이지, X 60mm, Y 50mm, T ±20° | |||
| - | - | 5축 스테이지, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ±20°, R 360° | |||
| - | - | 충격 흡수 플랫폼, 3축, 5축 스테이지용 | |||
| - | 감속 모드 1-10KV, 비전도성 시료 관찰용, BSE에만 해당 | ||||
| - | 원래 공장에서 In-Situ 스테이지, 가열, 냉각, 스트레칭 등 | ||||
| UPS | |||||
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▶ TTM용 AZtecOne with XploreCompact 30
시스템 기존 EDS 분석 이 시스템은 B(5)에서 cf(98)까지 다양한 재료의 정성 및 정량 분석을 제공합니다. 샘플 표면의 개별 포인트 스캔 외에도 강력한 라인 스캔 및 원소 스펙트럼 스캔을 사용할 수 있습니다. 맞춤형 검출기와 결합하여 분석 및 보고를 몇 초 안에 수행할 수 있습니다. |
| 유효 결정 면적 | 30mm2 | 해상도(사진의) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
| 원소 검출 범위 | B (5) ~ cf (98) | 최대 입력 계수율 | >1,000,000 cps |